一、設備名稱:YX-12型 X射線晶體定向儀(碳化硅晶體專用)
二、設備概述:
此設備為單工作臺:
主要測量碳化硅晶體的主、副參考面。設備同時配有2inch,4inch,6inch夾具各一套,分別夾持直徑2inch、4inch及6inch晶棒,用來實現(xiàn)參考面的測定。
三、設備技術(shù)參數(shù)
1、 儀器配置:YX-12型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分;由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。
2、 技術(shù)指標
項 目 |
參 數(shù) |
電源輸入 |
單相交流220V、50Hz 、容量0.5KW |
X射線管 |
銅靶、陽極接地、風機強迫冷卻 |
管 電壓 |
30 KVP、全壓合閘 |
管 電流 |
0--5mA、連續(xù)可調(diào) |
綜合精度 |
±30″ |
操作方式 |
手 動 |
狹 縫 |
4′5′ |
角度顯示 |
θ:以度、分、秒顯示;最小讀數(shù)10″ |
測角范圍 |
2θ角:-10~120°;θ角:-10~60° |
角度調(diào)整 |
數(shù)字顯示可預置在任意角度 |
峰值顯示 |
射線強度表(µA表) |
計 數(shù) 管 |
蓋革計數(shù)管、電壓DC700—1200V |
時間常數(shù) |
0.1、0.4、3、秒;3檔可調(diào) |
保 護 |
高壓連鎖、溫度保護 |
外型尺寸 |
1140長x650寬x1030高mm |
重 量 |
200 kG |
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