特點:
1. 采用最新進口同類型X射線光源和高壓電源,大大提高了射線強度,具有穩(wěn)定性高,耐用性好等特點。更針對特殊晶體與衍射峰值弱不便于測量的情況,例如:金剛石、磷化銦等人工或部分天然晶體。
2. 樣品臺采用自動旋轉(zhuǎn)方式,便于晶片的四點測量,并在操作過程中可觀察當前旋轉(zhuǎn)角度,避免了手動旋轉(zhuǎn)鏡片擺放不準確的誤差。
3. 取消了手輪的操作,全封閉式,有效保護操作人員。只需輕觸觸摸屏或腳踏開關(guān),即可實現(xiàn)標晶校準和測量晶體。
4. 采用PLC控制技術(shù),自動化程度高、故障率極低、抗干擾能力強、系統(tǒng)穩(wěn)定性好。
5. 具有測量數(shù)據(jù)打印功能,USB數(shù)據(jù)輸出接口,可轉(zhuǎn)換成EXCEL格式通過電腦存儲管理。
6. 可根據(jù)被測樣品不同,定制各種樣品臺和夾具,保證測量精度和使用的方便性。
7. 可進行晶片或晶棒的角度自動測量,應(yīng)用于各加工環(huán)節(jié)的角度檢驗,提高產(chǎn)品合格率。
技術(shù)指標:
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