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用途：將粘接好的晶棒，連同料板一同拿到Y(jié)X-6F定向儀上，料板底部靠在測角儀的基準(zhǔn)面上，打開光閘進(jìn)行復(fù)檢測量。YX-6F可對(duì)粘接好的晶棒進(jìn)行X軸的復(fù)檢測量，測量后的結(jié)果可與YX-6D的打印結(jié)果進(jìn)行對(duì)照，如有差異，可將晶棒從料板取下，重新粘接，大大保證了切割前晶棒的粘接精度。
技術(shù)參數(shù)：
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X射 線 管 |
銅靶，陽極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
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管 電 壓 |
30KVP，全壓合閘 |
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管 電 流 |
0---5mA，連續(xù)可調(diào) |
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整 機(jī) 功 率 |
不大于0.3KW |
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定 向 精 度 |
±30″ |
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蝸輪運(yùn)動(dòng)誤差 |
不大于30″ |
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計(jì)數(shù)器轉(zhuǎn)角度 |
-10°------+100° |
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樣品轉(zhuǎn)角度 |
-10°------+50° |
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計(jì) 數(shù) 管 |
蓋革管，電壓600-----1100V |
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時(shí)間常 數(shù) |
分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào) |
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保 護(hù) |
高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù) |
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狹 縫 |
4′、5′、6′ |
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外 型 尺 寸 |
1200mm×650mm×1100mm |
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儀 器 重 量 |
250KG |
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測樣品直徑 |
硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片； |
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測晶棒長度 |
硅單晶 Φ3—8英寸；500毫米長晶棒 |
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