YX-2H8大晶棒定向儀是在標準定向儀基礎(chǔ)上,針對單晶硅、砷化鎵、藍寶石等多種晶體設(shè)計.主要用于晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道。 標準配置為GA 、GC、測角儀 1,一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時能測晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。 2, 另一側(cè)GC測角儀能測晶棒端面,測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ5---Φ8英寸,長500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。
主要參數(shù):
項 目 |
參 數(shù) |
晶圓片直徑 |
2—8英寸; 最大11英寸 |
晶棒直徑 |
5—8英寸 ;最大11英寸 |
晶棒長度 |
500㎜ ; 最長550㎜ |
樣品板面積 |
43寬×112高 ㎜ |
定向精度 |
±30″ |
數(shù)顯方式 |
θ角:度;分;秒;最小讀數(shù)10″ |
數(shù)字位置 |
外置立式 |
技術(shù)指標 |
符合YX-2參數(shù) | |