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YX-5A高精度藍(lán)寶石晶體定向儀：是在YX-2D6A定向儀基礎(chǔ)上升級(jí)產(chǎn)品，配置單色器,數(shù)字顯示為6位，最小讀數(shù)1″，精度±15″針對(duì)單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì),主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,操作方便，顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道，屬于通用熱銷機(jī)型。
標(biāo)準(zhǔn)配置如下：GA, GB測(cè)角儀
1、一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 等角度；能測(cè)晶棒參考面110；OF等角度。藍(lán)寶石A,C,R面等角度。
2, 另一側(cè)GB專為晶棒設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)為寬130，長300平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托，能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片；能測(cè)晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ；如：硅（111）（100）藍(lán)寶石C面等角度；第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面，第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。
主要參數(shù)：
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項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
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晶棒直徑 |
2---6英寸、最大8寸 |
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晶棒長度 |
400 mm |
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樣品板面積 |
43寬×70高mm |
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衍射方式 |
前置 單色器, |
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定向精度 |
±15″ |
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數(shù)顯方式 |
θ：度、分、秒； |
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數(shù)顯單位 |
6位顯示 ；最小讀數(shù)1″ |
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顯示器 |
立式外置 |
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技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 | |
